第二百七十三章：十纳米级的碳基芯片？

“大家都知道，因为加工精度极高的芯片级的光刻机对存放的环境有异常严格的要求。”

“即便是一台小汽车从房间外行驶而过都会对光刻机的精度造成影响。”

“所以除了放置光刻机的楼层一般都会有特殊的避震设计外，光刻机本身也会自带隔振器，起到保护作用。”

而直播间里面的网友见韩元避开碳基芯片不正面回答他们的问题，纷纷在直播间里面声讨衰鸣装可怜起来。

【别啊，主播，咱还是聊聊碳基芯片吧，减震系统有啥好聊的。】

【是啊是啊，我想听碳基芯片是怎么造的。】

【我室友得了肺癌，只有一天可活了，临死前只想听听碳基芯片，主播你就满足这个愿望吧。】

【一个减震而已，有什么好说的，爸爸，我想听碳基芯片！】

【你们是不是也太小看减震的重要性了吧？对于光刻机这种精密度极高的设备来说，稍有震动就没法使用了，甚至这种震动弱到你都可能感觉不到。】

【楼上说的有道理，我北大的，16号线就因为我学校的精密仪器改线了。】

【好奇的问一下，光刻机的避震，还是用的弹簧吗？】

【这个问题我可以回答你，光刻机当然用的不是弹簧这种low比东西，至于用的什么，我也不知道§(*￣▽￣*)§】

【高性能主动隔振装置！我们公司就有这个卖，需要吗？价格不贵，几十万一台而已。】

【？？？？？】

【卧槽，还不贵？】

【想啥呢，这种几十万的，顶多用于光学仪器上，能用于光刻机上的避震，估计最少都是几百万起步的。】

【人家一台光刻机卖一个多亿，米金！几百万的避震，那是小意思好吗？】

.......

韩元看了眼弹幕，笑道：“隔振装置一般分成两种。”

“第一种是被动隔振，像弹簧、橡胶、海绵、泡沫等这些都属于被动隔振装置或材料。”

“这些装置或材料通过减小传递到接受结构的振动强度来实现减震，有着结构简单、易于实现、工作可靠、不需要额外消耗外界能源等优点”

“但缺点是避震效果一般，对于高精密的仪器比如光刻机或者光学透镜来说基本没什么用。”

“第二种则是主动隔振装置。”

“这种装置其实就是一个个的动作器，但这些动作器能根据检测到的振动信号，应用一定的控制策略驱动作动器，从而达到抑制或消除振动的目的。”

“我手中的图纸上绘制的，就是一种高性能的主动隔振装置。”

说着，韩元也来到了合金冶炼厂，推开大门，手中的图纸铺开，展示给观众看。

从最上面的整体结构图来看，绘制出来的主动隔振装置就像一张床垫一样。

翻开第二页、第三页、第四页.......直播间里面的观众才看到里面精密无比的零件构造。

繁多的零件上都标注着对应的名字，有传感器、测振仪、空气弹簧、作动器、驱动器、激动器等等等。

偌大的白纸上，密密麻麻的全是各种复杂的线条结构图和标注，看的直播间里面的观众眼花缭乱的。

【好复杂！】

【一个避震器而已，用得着这么多的零件吗？】

【空气弹簧？为啥主动避震器里面会这玩意？它不是被动隔振吗？】

【谢邀，人在直播间，蹲了快两年了，终于能有看得懂了。这个问题我来回答！】

【续：主动隔振技术通常包含被动隔振组件和主动隔振器，被动隔振组件（空气弹簧这种）负责消除高频振动和支撑负载功能，而主动隔振技术拥有优秀的低频隔振能力，负责消除低频（0.5~10hz）的外部振动，适用于超精密测量场景。】

【楼上这么专业？】

【不，他不是专业，他是百度的，这段话和百度的一模一样！】

【窝草，这。。。。。。】

【好家伙，装逼不成反被草。】

【哈哈哈哈哈，人才啊，差点被他装到了。】

.......

看到起哄的弹幕，韩元笑了笑，没再管这些，开始着手制备‘va-av形主动隔振装置’的相关合金零件。

这其中就包括一种名为va系列的柔软性金属制造的空气弹簧，其构成绝大部分是金属配件，包含了少量的外部橡胶。

看起来有些类似于电竞椅上的那种可升降的气压杆，或者说千斤顶，只是结构要复杂多了。

找齐需要的合金，韩元启用了电热坩埚。

虽然电热坩埚一次性能融化的合金量相对较少，但提升温度极为迅速，能节省出大量预热时间。

称量配备好的金属材料钛、铬、低碳钢、铜等材料放入坩埚中，电能供应上，坩埚迅速从红变白，里面的合金熔化，然后倒出来。

先进行去硫、去碳、消除金属气体等处理，然后将得到的金属块重新融化，在进行退火处理，使其不易弯曲成形。

然后再进行淬火+中温回火的热处理工艺，可以得到‘回火托氏体’，等待自然冷却后可以得到有较高的弹性极限、屈服点、以及很强韧性的金属材料。

这样的金属材料可以用作‘金属空气弹簧’的主体支撑结构。

不过这还只是合金材料，还需要使用m1级多轴加工仪进行切削加工处理。

相对比熔制合金使用模具一次性成型来说算得上比较复杂了。

但没办法，科技越是发展，很多仪器的零部件对材料的要求就越高。

模具倒制零件虽然方便，但很多时候倒制出来的零件在性能方面都达不到要求。

这也是高精度机床在现代工业化体系中极为重要的原因。

只有通过刀具切削加工出来的材料零件，才完美的符合要求。

特别是这一次他制备的金属空气弹簧，在气密性上要求极高。

这就要求金属零件的表面光滑度极高，否则填充进里面高度压缩气体迟早跑光，根本就无法起到减震作用。

另外，韩元之所以选择最先制备减震装置，是因为减震装置里面有不少零件都需要放置一段时间以消除金属残余应力。

残余应力释放不达标，也达不到性能要求。

.......

－－－－－－题外话－－－－－－

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